ICT测试治具的过程跟踪的意思是使用检查设备来监视生产过程。典型地包括详细的缺陷分类和元件贴放偏移信息。

当产品可靠性很重要、低混合度的大批量制造、和元件供应稳定时，制造商优先采用这个目标。

这经常要求把检查设备放置到生产线上的几个位置，在线地监控具体生产状况，并为生产工艺的调整提供必要的依据。

ICT测试治具可以检测电路网络的连接状况，检查制成板上在线元器件的电气性能和电路网络的连接状况，能够定量地对电阻、电容、电感、晶振等器件进行测量。

对二极管、三极管、光藕、变压器、继电器、运算放大器、电源模块等进行功能测试，对中小规模的集成电路进行功能测试，如所有常用驱动类、交换类等IC。